LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展

摘要：

微电铸是相对于常规电铸工艺而确立的新概念,它是适用于微小结构成型而建立的批量加工技术,既可以看作是在微细加工模具基础上的传统电铸技术的延伸,也可以认为是掩膜电镀在高深宽比方向发展的结果,微电铸工艺是LIGA/准LIGA技术的核心内容,在MEMS技术领域有广泛应用.介绍了电铸和微电铸的原理和特点,系统分析了微电铸过程的电化学本质,综述了微电铸技术研究的最新进展,给出了一些为大家所共识的微电铸镍基本工艺规范.

关键词：LIGA技术、微电铸镍、传质过程

所属期刊栏目：26

分类号：TQ153.4

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA404140;国家自然科学基金10377009

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-5,34