低温漂过载加速度传感器

摘要：

过载加速度传感器,是采用了最新的MEMS技术与微电子技术研制的一种新型硅压阻加速度传感器,集加速度敏感元件、信号放大、饱和控制及温度补偿等于一体,对传统的电桥放大电路和温度补偿电路进行了改进,使得传感器温漂更小且具有可编程补偿温度和增益调整等功能.

关键词：微电子机械系统、加速度传感器

所属期刊栏目：25

分类号：TN6(电子元件、组件)

资助基金：国家新产品计划2003ED630010

在线出版日期：2005-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：266-268