声表面波马达

摘要：

给出了超声马达的新进展-声表面波马达.由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点.本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨.

关键词：超声波马达、声表面波马达、多自由度、叉指电极、小型化

所属期刊栏目：25

分类号：TN65(电子元件、组件)

资助基金：国家自然科学基金50205017

在线出版日期：2005-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：231-233,268