薄膜混合电路中有机薄膜厚度的快速测定

摘要：

介绍了一种无损、快速、准确测定有机薄膜厚度的新方法-FT-IR反射-干涉光谱法.对测厚的原理进行了分析,将此方法用于薄膜微波电路生产中光刻胶和聚酰亚胺厚度的测定,并与传统的用台阶仪测厚方法进行比较. FT-IR反射-干涉光谱法更方便、快捷、更准确,避免了光刻的过程和光刻显影过程中显影液对膜厚的减损,以及台阶测厚仪本身可能造成的测量误差.

关键词：FT-IR、薄膜微波电路、光刻胶、厚度

所属期刊栏目：25

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：112-114