MEMS加速度传感器的原理及分析

摘要：

主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍.

关键词：硅微机械加工技术、加速度传感器、封装

所属期刊栏目：24

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家新产品计划2003ED630010

在线出版日期：2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：260-262,265