微弯曲面成型技术-多线成面技术

摘要：

熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺-多线成面技术.此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点.

关键词：高深宽比光刻胶结构、熔融成型、二次涂胶定型、微弯曲面、任意形状表面

所属期刊栏目：24

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国防重点实验室基金5148502030;电子工业部电子科学研究院预研项目024130805

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：210-213