微压印光刻的模具制作工艺研究

摘要：

从模具材料研究模具制作工艺问题,通过实验研究,对比分析了有机玻璃模具和硅橡胶模具制作工艺.实验表明,可以复制出特征尺寸为0.35 μm和 0.1 μm的有机玻璃模具和硅橡胶模具,均具有很高的复型精度.由于硅橡胶模具制作工艺在复型精度、复型精度稳定性和制作速度上均优于有机玻璃模具,且缺陷密度低于有机玻璃模具.因此,选用基于高复型精度软硅橡胶模具的软压印光刻工艺.

关键词：压印光刻、硅橡胶、有机玻璃、模具、复型

所属期刊栏目：24

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50275118;国家高技术研究发展计划863计划2002AA420050

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：207-209