微电子机械系统及硅微机械加工工艺

摘要：

微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术.硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术.介绍了MEMS的特点、国内外MEMS的发展现状,讨论了MEMS的三种加工方法,着重探讨了硅微机械加工中常用的腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等工艺.

关键词：微电子机械系统、体微加工、表面微加工、LIGA

所属期刊栏目：24

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：185-188