MIM结构薄膜应变栅的工艺研究

摘要：

阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试.

关键词：MIM结构、薄膜应变栅、直接沉积法

所属期刊栏目：21

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：福建省自然科学基金E9810004

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：222-224