超薄防护涂层在微波电路中的应用研究

摘要：

应用真空气相化学沉积的工艺方法,在电路板上聚合一层均匀、致密、透明的有机薄膜,并介绍了薄膜的防护性能和介电性能以及在微波电路中的应用情况.

关键词：真空气相化学沉积、敷形涂覆、预聚体、一氯聚对二甲苯

所属期刊栏目：20

分类号：TN6(电子元件、组件)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：75-77