电化学微／纳米加工技术

摘要：

介绍电化学微／纳米加工技术，特别是厦门大学电化学微／纳米加工课题组建立起来的约束刻蚀剂层技术，旨在让广大师生了解这一特种加工技术，共同促进我国电化学微／纳米加工技术的研究及产业化进程。

关键词：微/纳米加工技术、电化学微/纳米加工、约束刻蚀剂层技术

所属期刊栏目：27

分类号：O646(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：基金资助:国家自然科学基金91023006,91023047,91023043;中央高校基本科研业务费专项资金2010121022

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8