6英寸高压晶闸管的研制

摘要：

基于5英寸换流阀晶闸管的设计和工艺技术平台,通过优化杂质扩散工艺、光刻版设计和台面造型保护工艺,保证了掺杂分布的均匀性、重复性和可控性,以及器件良好的阻断特性,确保器件获得较高的电流上升率、电压上升率,研制出了6英寸4000 A/8000 V高压晶闸管样品.并采用电子辐照技术得到进一步优化,对器件的通态压降与反向恢复电荷的折衷关系.

关键词：6英寸晶闸管、特高压直流输电、换流阀、电子辐照

所属期刊栏目：31

分类号：TN34(半导体技术)

在线出版日期：2007-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：90-92