“半导体器件实验”课程改革探索与实践

摘要：

“半导体器件实验”是微电子科学与工程专业的重要必修课程.以往的实验教学中存在与理论教学脱节,与工业界标准相差甚远以及实验仪器昂贵等问题.通过建立基于实际代工工艺的半导体集成电路器件模拟测试教学实验平台,模拟最新工业标准的半导体器件的特性,使学生深入理解半导体器件的理论知识,培养创新型人才.

关键词：半导体器件实验、模拟测试、电子设计自动化

所属期刊栏目：41

分类号：G434(电化教育)

资助基金：西安交通大学教学改革研究项目17ZX072

在线出版日期：2019-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：134-136