热载流子效应及其对器件可靠性影响的研究

摘要：

该文主要阐述了热载流子效应产生的物理机制及器件的退化，进一步介绍了在JEDEC标准中，对可靠性模型寿命计算做出的规范下，目前使用的三种寿命计算模型：衬底电流模型，Vd模型，Isub/Id模型（即：胡模型），基于这些模型对器件寿命的估算，将为集成电路设计中器件优化与工艺改进提供重要参考信息。

关键词：热载流子、可靠性模型、寿命、JEDEC标准

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2013-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1161-1162