直线电机的线性自抗扰控制

摘要：

光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪.为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度.针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法,该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿,减小系统的动态跟踪误差.在此复合控制方式下,控制器实现了自抗扰控制,前馈控制器很好的补偿了误差,从而提高了系统的抗干扰和跟踪性能.实验表明,该方法与传统的控制方法相比,改善了系统的动态性能和抗干扰能力.

关键词：光刻机、工件台、直线电机、线性自抗扰、前馈补偿、高动态精密伺服

所属期刊栏目：17

分类号：TP273.3(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技重大专项资助项目2009ZX02207

在线出版日期：2013-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：71-76