基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究

摘要：

通过湿法台阶刻蚀工艺,在GaInP/GaAs/Ge太阳电池晶圆上按设计尺寸做成切割槽,继而采用皮秒或纳秒激光划切晶圆衬底,完成尺寸误差低于10μm的电池切割,该工艺制备的太阳电池性能与金刚石砂轮划片效果等同.和金刚石砂轮划片工艺相比,激光划片具有速度快、切割图形多样、维护周期短等优点.

关键词：台阶刻蚀、激光划片、热效应

所属期刊栏目：46

分类号：TM914

在线出版日期：2022-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：549-551