磁控溅射制备V2O5薄膜及全固态薄膜锂电池研究

摘要：

V2O5具有容量高、循环稳定、易于制备成薄膜等特点,是全固态薄膜锂电池理想的正极材料.采用磁控溅射法,以V2O5为靶材制备了薄膜,研究了溅射气体Ar/O2对薄膜结构、形貌及电化学性能的影响,优化了薄膜制备工艺.最终采用磁控溅射法依次沉积集流体薄膜、钒氧化物薄膜、固态电解质薄膜,真空热蒸发金属锂薄膜,成功制备了Al/V2O5/LiPON/Li/Cu全固态薄膜锂电池.薄膜电池在1.7～3.4 V电压范围内,以10 μA/cm2恒电流充放电测试,电池比容量达到25 μAh/cm2,稳定循环超过500次.

关键词：磁控溅射、V2O5薄膜、全固态薄膜锂电池

所属期刊栏目：43

分类号：TM912

在线出版日期：2019-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：909-911,927