空间太阳电池阵用ITO玻璃盖片工艺探索

摘要：

ITO薄膜即铟锡氧化物(Indium Tin Oxides)半导体透明导电膜,有良好的导电性,高的透过率,并且具有很高的可靠性,可应用于航天领域电磁监测卫星的太阳电池板上以控制其表面电位.针对航天器太阳电池阵用ITO薄膜的真空蒸镀法制备进行工艺优化,通过选用合适的蒸镀速率和退火条件得到具有较低电阻率、较高透过率并且与空间用三结砷化镓太阳电池相匹配的ITO盖片产品.

关键词：ITO盖片、透过率、导电性

所属期刊栏目：42

分类号：TM914

在线出版日期：2018-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：846-848