扩散气体流量对单晶硅太阳电池性能的影响

摘要：

以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压(Voc)、短路电流(Isc)、转换效率(η)等电性能参数的影响.通过逐步改变小氮和氧气流量,找出小氮和氧气流量的最佳比值,优化了扩散工艺.实验证明,小氮流量在1 100mL/min,氧气流量在500 mL/min时,太阳电池的转化效率最高.

关键词：小氮流量、氧气流量、方块电阻、少子寿命、转化效率

所属期刊栏目：41

分类号：TM914

在线出版日期：2017-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：422-424