金刚石线切割太阳电池多晶硅片绒面的分析

摘要：

采用HF/HNO3酸刻蚀液对金刚石线切割太阳电池多晶硅片进行制绒研究,对比分析了刻蚀液浓度、刻蚀时间以及以H2O和CH3COOH为添加剂等因素下的多晶硅片绒面形貌特性.结果表明:富HF体系,金刚石线切割多晶硅片表面的划痕加深,但其表面刻蚀效果较好;富HNO3体系,金刚石线切割多晶硅片表面往复纹微消除,而表面制绒效果不佳;然而,随着时间延长,富HF和富HNO3刻蚀多晶硅片表面腐蚀坑均由较小凹坑状逐渐变大,最终形成条状腐蚀坑;与H2O为添加剂相比,CH3COOH下的硅片表面腐蚀坑分布较均匀.研究成果为金刚石线切割技术应用于多晶硅片提供了技术支撑.

关键词：金刚石线切割、酸刻蚀、绒面形貌

所属期刊栏目：41

分类号：TM615(发电、发电厂)

资助基金：国家自然科学基金51164033,51664047;江西省自然科学基金20132BAB206021;江西省教育厅科技项目GJJ151207,赣教技字12746,12745,12748

在线出版日期：2017-05-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：234-235,249