PID温度控制在真空镀膜机应用研究

摘要：

在自动化控制领域内,PID控制器具有结构简单、容易实现、控制效果好等特点,是迄今为止最稳定的控制方法.高真空镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,控制温度的精准与否将直接影响空间用太阳电池成膜质量,研究了PID算法的原理和实现方法,将其应用到真空镀膜机温度控制系统中,并且摸索出相应参数整定的方法规律,可以满足工艺所需要的各种温度.

关键词：PID温度控制、参数整定、真空镀膜机

所属期刊栏目：40

分类号：TM914

在线出版日期：2016-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1465-1466,1494