腐蚀时间对多晶硅表面绒面影响研究

摘要：

研究了不同腐蚀时间下多晶硅绒面微观结构的演变规律,检测了其太阳电池电性能参数.研究表明:与110和170 s相比,当腐蚀时间为135S时,腐蚀深度适中,反射率约16.5％,属正常腐蚀;虽然腐蚀时间为170 s时,腐蚀深度较深,反射率较低(约14.6％),但从太阳电池电性能来说,腐蚀时间为135 s的太阳电池电性能参数为最优,其转换效率可达16.3％.另外,多晶硅绒面制备过程中,随着腐蚀时间延长,硅片表面微观结构的演变规律为:表面少量微裂纹→浅状气泡状凹坑→均匀性较好的绒面→形成大量小孔和“断裂带”.

关键词：多晶硅、酸腐蚀、绒面、腐蚀时间、形貌

所属期刊栏目：37

分类号：TM914.4

在线出版日期：2013-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1959-1961