Si(100)在NaOH/NH4F/Na2CO3体系中的绒面制备

摘要：

用NaOH/NH4F/Na2CO3溶液体系对单晶硅(100)进行了表面织构.结果发现腐蚀所得表面沟壑纵横,沟壑间是类似金字塔的小凸起.在优化条件下,平均反射率低且不随腐蚀时间的延长而增大,可重复性好,是比较理想的碱腐蚀液.

关键词：单晶硅、腐蚀、表面织构、NaOH/NH4F/Na2CO3溶液

所属期刊栏目：36

分类号：TM914.4

在线出版日期：2013-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1301-1302