蒸发用磁偏转电子枪的原理与结构分析

摘要：

空间用砷化镓太阳电池的介质膜和金属膜的制备主要依靠真空条件下电子枪的蒸发来完成.深入分析电子枪的原理和结构,有利于改善蒸发工艺,如:可根据不同的蒸发材料选择不同的形式的电子枪,确定不同的扫描方式和蒸发功率等,达到更加完美的蒸发效果.

关键词：电子枪、束斑、坩埚、电子束蒸发、磁场、电场、真空

所属期刊栏目：36

分类号：TM914.4

在线出版日期：2012-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1138-1139