多晶硅太阳电池表面绒面制备工艺优化

摘要：

采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面,利用正交实验法研究了不同腐蚀液配方中的HNO3、HF和缓和剂NaH2PO4·2 H2O的含量对多晶硅太阳电池绒面的反射率和腐蚀速度的影响.结果表明:NaH2PO4·2 H2O溶液对腐蚀速度有着显著的影响,其次为HF溶液和HNO3溶液;对于反射率来说,其影响因素的重要性主次顺序为HF溶液、HNO3溶液、NaH2PO4·2 H2O缓和剂.在本实验条件下,最佳的酸腐蚀混合液配方为HF∶HNO3∶NaH2PO4·2 H2O=9∶1∶7,在该工艺条件下,制备的硅片绒面腐蚀坑较为均匀,反射率为17％左右.

关键词：多晶硅、酸腐蚀、绒面、反射率

所属期刊栏目：35

分类号：TM615(发电、发电厂)

资助基金：2010年江西省教育厅科技项目GJJ10647;2009年江西省高校省级教改项目JXJG-09-24-2;2009年校级招标课题资助项目

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1246-1248