铜铟镓硒柔性薄膜太阳电池的制备及性能表征

摘要：

以厚度为25～70μm的钛箔为衬底.直流磁控溅射法制备0.8～1.2μm的底电极Mo薄膜,而后以Culn和CuGa靶交替溅射制得Cu-In-Ga金属预制膜,再以真空硒化法制得CuIn1-x-xGaxSe2薄膜.以化学浴沉积法制备缓冲层CdS,射频磁控溅射法制备ZnO和ZAO,直流磁控溅射法制备上电极,制得结构为衬底Ti/Mo/CIGS/CdS/ZnO/ZAO/Al,其光电转换效率达到7.3%(25 ℃,AMO).

关键词：铜铟镓硒、薄膜、太阳电池、柔性

所属期刊栏目：33

分类号：TM914.4

资助基金：天津市科技支撑计划重点项目07 ZCKFGX 02700

在线出版日期：2009-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：406-408