空间用TiOx光学薄膜的生长机理

摘要：

论述了TiOx膜的生长杌理,详细研究了在电子束加热真空蒸镀膜的过程,蒸汽分压,衬底温度对膜性能的影晌.讨论了通过高温高真空蒸镀的方法制备出双层增透膜TiOx/SiOy、TiOx/YOy和TiOx/AlOy,通过应用双层增透膜,太阳电池的短路电流提高36%～48%(硅太阳电池的短路电流提高近48%,砷化镓太阳电池提高近36%).

关键词：光学薄膜、空间太阳电池、增透膜、短路电流

所属期刊栏目：32

分类号：TM914.4

在线出版日期：2009-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：873-874