氮化锡负极薄膜的制备与性能研究

摘要：

氮化锡是一种新型薄膜锂电池负极材料,采用射频反应磁控溅射法制备氮化锡负极薄膜,系统研究了反应溅射功率和气流比对氮化锡薄膜结构的影响,并对其充放电性能进行了研究.实验结果表明,在溅射功率75 W,N2/(N2+Ar)流量比0.5的条件下所制备氮化锡薄膜结晶度较好,表面致密具有良好的电性能,首次充放电效率超过60%,50次循环后放电比容量仍保持250 mAh/g.

关键词：薄膜锂电池、氮化锡、负极、反应溅射

所属期刊栏目：32

分类号：TM912.9

在线出版日期：2009-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：742-744,747