多晶硅太阳电池的酸腐蚀绒面技术

摘要：

比较了几种多晶硅太阳电池的绒面技术,重点介绍了目前研究和应用较多的酸腐蚀技术.给出了该技术的基本原理、一般的绒面特征、常见的一些改进和对蚀刻时间的优化.这对于相关领域的研究人员具有参考价值.

关键词：多晶硅绒面、酸腐蚀、表面特征

所属期刊栏目：30

分类号：TM91

在线出版日期：2007-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1020-1022