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10.3969/j.issn.1002-087X.2005.03.003

图形反转双层光刻胶金属剥离技术

引用
金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的工艺技术.为了实现真空蒸镀直接剥离7μm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金属剥离技术.采用图形反转胶和正型光刻胶,实现了理想的光刻胶剖面图形,检测表明金属厚度达到7 μ m.此技术已经用于高效太阳电池的批量生产中.空间环模条件考核表明此工艺制作的电极满足空间环境的要求.

太阳电池、光刻、图形反转、双层光刻胶、剥离

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TM914.4

2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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电源技术

1002-087X

12-1126/TM

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2005,29(3)

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