10.3969/j.issn.1002-087X.2005.03.003
图形反转双层光刻胶金属剥离技术
金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的工艺技术.为了实现真空蒸镀直接剥离7μm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金属剥离技术.采用图形反转胶和正型光刻胶,实现了理想的光刻胶剖面图形,检测表明金属厚度达到7 μ m.此技术已经用于高效太阳电池的批量生产中.空间环模条件考核表明此工艺制作的电极满足空间环境的要求.
太阳电池、光刻、图形反转、双层光刻胶、剥离
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TM914.4
2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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