微能源

摘要：

微电子机械系统(MEMS--Micro Electro Mechanical Systems),是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行器,微电子元件、电路和供能部件的器件或是系统.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.现有的一个解决方案是微能源.介绍了微能源技术的发展和技术现状,分别讨论了微型内燃机系统、微燃料电池、微太阳电池、微型锂电池、微型核电池等几种微能源的制造工艺,工作特性以及应用现状.简单分析了微能源的发展方向和应用前景.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、微能源、制造工艺、工作特性

所属期刊栏目：26

分类号：TM912

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：470-474