低电压电沉积类金刚石碳膜的研究

摘要：

采用电化学沉积法,在较低电压下(4.0～8.0 V)以甲酸作为主要碳源,甲酸钠作为辅助碳源,二甲基亚砜与去离子水作为溶剂,在不锈钢表面制备了类金刚石碳薄膜,研究了沉积电压对碳膜形貌和成分的影响.电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜致密、均匀,膜的电导率与沉积电压呈负相关关系,电导率介于金属与半导体之间.拉曼光谱在1332 cm-1处出现金刚石的特征峰,sp3碳成分随沉积电压的增加而增加.傅里叶红外变换光谱显示沉积的类金刚石碳膜为含氢碳膜.X射线光电子能谱分析显示这些薄膜中存在sp2和sp3键碳原子.

关键词：低电压、电化学沉积、类金刚石碳膜、不锈钢、二甲基亚砜

所属期刊栏目：28

分类号：O646;TQ153.2;TG174.44

资助基金：国家自然科学基金;常州市科技项目;常州市科技项目

在线出版日期：2022-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：62-69