薄膜测量的变间距不接触三电极技术

摘要：

针对电气绝缘用薄膜材料相对电容率εr和介质损耗角正切tanδ的测量,IEC推荐了变间距不接触三电极方法.为了配合我国国家标准的制定及推广,自行研制了高精度的空气媒质变间距不接触三电极系统,其测量电极直径为38mm,保护间隙宽度为0.2mm,满足极薄(厚度小于30μm)的薄膜材料测量的特殊技术需求,可将εr的测量误差控制在5%以内,tanδ可测到10-5数量级.通过大量试验及理论分析,系统研究了影响测量准确度的关键因素,并将两种不接触电极方法进行了比较,以供相关技术人员作为实际应用时的借鉴和参考.

关键词：变间距不接触三电极、极薄的薄膜、相对电容率、介质损耗角正切

所属期刊栏目：22

分类号：TM930.12

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39