基于机器视觉的磁控溅射薄膜件的划痕检测

摘要：

针对目前磁控溅射薄膜件人工检测效率低的问题,结合企业需求,设计了一种基于机器视觉技术的磁控溅射薄膜件划痕自动检测系统,实现对产品表面各种划痕的自动检测.首先对采集到的图像进行校正,利用标准图像创建模板,通过形状模板匹配提取样本图像中感兴趣的区域.然后将图像分解成低频和高频两部分,对低频部分进行先膨胀后腐蚀的操作,对高频部分进行中值滤波以去除噪声,图像合成后通过取反和灰度缩放生成增强图像;最后采用二维Otsu拟合线阈值分割法对图像进行分割,采用选取指定形状特征和骨架提取法对划痕缺陷进行提取和测量.对100件样品进行多次随机验证的结果表明,本文设计的系统能快速、准确、高效地提取并测量划痕缺陷,每个样品检测的平均耗时仅0.25 s,正检率达98.5％.该方案与人工检测比,速度更快、准确度更高,可以满足工业应用的需求.

关键词：磁控溅射、划痕检测、机器视觉、阈值分割

所属期刊栏目：41

分类号：TP273.5;TQ639(自动化技术及设备)

资助基金：广东省普通高校特色创新类项目;东莞职业技术学院科研基金;广东大学生科技创新培育资金立项项目;东莞职业技术学院大学生创新创业计划项目;东莞职业技术学院质量工程;广东省教育厅科研项目

在线出版日期：2022-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1327-1332