电化学测试技术在集成电路制程化学机械抛光中的应用现状

摘要：

简述了包括开路电位法、极化曲线法、恒电位法、电化学阻抗谱在内的常规电化学测试技术的原理.总结了近几年内这几种电化学测试技术在化学机械抛光领域研究中的应用现状,展望了未来的发展方向.

关键词：集成电路、化学机械抛光、电化学测试、开路电位、极化曲线、恒电位、电化学阻抗谱、综述

所属期刊栏目：40

分类号：O646;TN305(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家科技重大专项;河北省自然科学基金

在线出版日期：2021-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58