FTO薄膜表面激光诱导制备ZnO纳米结构

摘要：

采用磁控溅射法在FTO(掺氟二氧化锡)玻璃基底表面沉积金属Zn层,再将其置于双氧水溶液中,通过纳秒脉冲激光对其表面进行辐照处理来实现ZnO纳米结构的制备.研究了激光能量密度和扫描速率对ZnO纳米结构的形成和得到的ZnO纳米结构复合FTO(ZnO/FTO)薄膜表面形貌和光电性能的影响.结果表明,当Zn层厚度为200 nm时,可保证FTO薄膜表面既出现完整的ZnO纳米结构,又仅有少量Zn剩余.当激光能量密度为0.80 J/cm2,扫描速率为15 mm/s时,FTO薄膜表面制备出了均匀一致性最好的ZnO纳米结构,此时ZnO/FTO薄膜有最佳的光电性能,其在400～800 nm波段的平均透光率为70.18％,平均反射率为7.10％,方块电阻为9.23Ω.

关键词：掺氟二氧化锡薄膜、锌、磁控溅射、双氧水、激光辐照、氧化锌纳米结构、透光率、反射率

所属期刊栏目：39

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：常州工程职业技术学院科研基金项目11130300118025

在线出版日期：2020-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1010-1015