卷对卷化学蚀刻工艺

摘要：

介绍了一种自动化的卷对卷化学蚀刻工艺,主要包含表面清洁、贴膜、模切、排废、蚀刻和撕膜六大工序,介绍了各工序的控制要点和质量管控事项.

关键词：化学蚀刻、卷对卷、自动化、管控

所属期刊栏目：39

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2020-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：841-843