高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能

摘要：

通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜.研究了溅镀功率(120、150、180、210和240 W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响.以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在干式切削条件下考察了切削后工件的表面粗糙度和车刀的腹部磨耗.结果表明,增大溅镀功率可以提高薄膜的硬度和耐磨性,被切削工件的表面质量得到明显的改善,刀具磨损量大大减小.

关键词：铝铬铌硅钛钒、高熵合金、氮化物、高功率脉冲反应磁控溅射、纳米压痕、腹部磨耗

分类号：TQ153.17

资助基金：广东省教育厅2017年度项目教育科研重大项目2017GGXJK097

在线出版日期：2019-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：674-679