溅射法制备Al/Pb金属多层膜

摘要：

通过直流二极溅射法制备了具有不同调制波长和周期的Al/Pb金属多层膜.分别通过扫描电镜、X-射线衍射试验以及能谱对多层膜的表面形貌、断面形貌、结构和组成进行了分析.结果表明,所制备的Al/Pb纳米多层膜既无新相生成也无非晶相产生;在亚微米尺寸范围内,铝和铅的微粒分布均匀;在纳米尺寸范围内,形成了Pb对Al的包覆.

关键词：直流溅射、Al/Pb纳米金属多层膜、微粒分布、纳米尺寸

所属期刊栏目：25

分类号：TF8(有色金属冶炼)

资助基金：国家自然科学基金50061002

在线出版日期：2006-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22