电子电镀中若干新工艺和新技术

摘要：

介绍了电子电镀中的若干新工艺新技术,如芯片电镀、电化学机械研磨、微机电系统电镀、不溶性阳极电镀铜、镀铂铌电极以及无铅无镉中磷光亮化学镀镍、碱性蚀刻液再生和铜回收系统等.

关键词：电子电镀、芯片电镀、电化学机械研磨、微机电系统电镀、不溶性阳极、镀铂铌电极、无铅无镉化学镀镍、碱性蚀刻液再生、铜回收

所属期刊栏目：25

分类号：TQ15

在线出版日期：2006-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-7