Ti和W合金上浸渍沉积钯以选择性引发无电沉积制作晶片

机标关键词：合金、浸渍沉积、选择性、无电沉积、制作

所属期刊栏目：18

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：65