我国半导体光刻胶行业发展现状及对石化产业建议

摘要：

从市场、产业链、技术等方面分析国内光刻胶的发展现状;通过梳理半导体产业链及光刻胶行业的发展史得出,市场、光刻机以及光刻胶上游原材料技术是发展半导体光刻胶的关键成功要素.目前,上游原材料树脂技术是我国光刻胶产业链最薄弱环节.建议在合成树脂方面具备资源及技术优势的石化企业把握时代趋势,充分发挥自身优势,并购先进企业或引进国外先进技术,并与国内中下游企业合作,大力发展高端光刻胶树脂,完善我国市场主流半导体ArF光刻胶产业链,并提前布局下一代EUV光刻胶树脂.

关键词：半导体光刻胶、卡脖子、主体树脂、ArF光刻胶、EUV光刻胶

所属期刊栏目：30

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：18-23,39