NbN基陶瓷硬质薄膜研究现状与进展

摘要：

主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状,详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能,并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的性能影响和多层膜的超硬效应机理.指出复合、多层陶瓷薄膜具有单一NbN薄膜无法实现的优点,复合、多层陶瓷膜将依然是未来NbN基陶瓷硬质薄膜的研究方向,最后对NbN基陶瓷硬质薄膜的发展和应用前景进行了展望.

关键词：NbN薄膜、微结构、力学性能、摩擦磨损性能、超硬效应

所属期刊栏目：45

分类号：TG174.(金属学与热处理)

资助基金：安徽省自然科学重点项目;安徽省高校优秀青年骨干教师国内访学研修项目

在线出版日期：2023-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：55-63