磁控溅射法制备氧化锆涂层及其绝缘性能研究

摘要：

电机轴承的绝缘对于提高电动汽车的电机寿命具有重要意义.采用直流反应磁控溅射方法和正交试验设计,研究了工作气压、氧气流量和沉积温度对ZrO2绝缘涂层的影响.采用扫描电镜、X射线衍射仪及数字兆欧表对ZrO2涂层进行截面形貌、表面形貌、涂层厚度、物相结构及绝缘性能进行分析.结果表明:绝缘电阻与涂层厚度的比值R/t最低为635 MΩ/μm时,涂层厚度为1.639 μm,绝缘电阻值为1041 MΩ;制备的ZrO2涂层结构较为致密,呈现非晶态或单斜相,随着沉积温度和氧气流量的增加,ZrO2涂层结晶明显,且有M-ZrO2(?111)晶面择优取向;氧气流量对涂层厚度影响最大,沉积温度对R/t的影响最大;涂层内部缺陷的增加和结构的疏松使得涂层绝缘性能降低,而涂层结晶度的增高及M-ZrO2(?111)晶面的择优取向会使涂层绝缘性能增强.

关键词：ZrO2涂层、绝缘性能、涂层厚度、微观结构、磁控溅射

所属期刊栏目：45

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金51975287

在线出版日期：2023-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：68-73