刀具/齿轮钢表面TiSiCN涂层结构和性能

摘要：

为解决刀具/齿轮钢表面涂层结合性能差、不能长期保护基体的问题,采用直流和射频混合的低温磁控溅射方法在齿轮刀具钢表面制备了复合TiSiCN涂层,并借助X射线衍射、扫描电子显微镜、附着力划痕仪、显微硬度计和电化学工作站等研究了沉积温度对涂层结构和性能的影响.结果表明,复合涂层为B1型面心立方结构,包含TiC和TiC0.3N0.7两种物相,并在(111)晶面择优取向.随着沉积温度的增加,涂层表面变得光滑平整,结晶度和致密度提高,硬度增大,涂层与基体结合力增大,耐蚀性能提高,沉积温度250℃时涂层表面质量和性能最佳.沉积温度为300℃时,涂层表面缺陷增加,结合性能和硬度值下降,耐蚀性能下降.

关键词：TiSiCN涂层、沉积温度、微观结构、附着力、耐蚀性能

所属期刊栏目：44

分类号：TB37(工程材料学)

在线出版日期：2022-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7