氮化碳超硬防划伤镀膜玻璃的制备与研究

摘要：

采用工业磁控溅射设备在玻璃基板上依次沉积Al2O3/SiO2/CNx多层复合纳米薄膜,并研究测试了其透过率、耐划性及耐酸碱性.结果表明,通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,膜层莫氏硬度达到8级,具有优良的防刮效果;膜层存在△T＞0.6％的微弱增透效果;经过酸/碱处理,透过率衰减|△T| ＜0.1％.

关键词：氮化碳薄膜、磁控溅射、超硬膜层、防刮伤、透过率、耐酸耐碱性

所属期刊栏目：39

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2017-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23