硅表面化学镀镍研究

摘要：

化学镀镍具有优异的特性,广泛应用于塑料、半导体和金属的表面保护涂层,其中半导体硅表面化学镀镍已有深入的研究.针对硅基体表面化学镀镍的研究进展和成果进行了详细介绍,主要包括硅基体表面的预处理方法、化学镀镍工艺,硅基体表面化学镀镍的反应机理和添加剂对化学镀镍的影响研究,并总结展望了硅基体表面化学镀镍的发展趋势.

关键词：硅、化学镀、镍

所属期刊栏目：39

分类号：TQ153.3

资助基金：江苏省高校自然科研面上项目和江苏省青年自然科学基金项目BK20150260

在线出版日期：2017-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：16-22,30