磨料粒径对铝栅CMP去除速率和粗糙度的影响

摘要：

在铝栅化学机械平坦化(CMP)中磨料直接影响去除速率和表面粗糙度.采用不同粒径的磨料配置抛光液对铝栅进行CMP实验,对去除速率和表面形貌测试结果进行分析.结果表明,去除速率与参与抛光的磨料颗粒数目和单个颗粒去除速率有关,表面粗糙度与单个磨料颗粒机械作用和抛光后磨料颗粒表面吸附有关,并对抛光液稳定性进行了研究.最终选用粒径70 nm,质量分数为5％的磨料,去除速率可达到181 nm/min,表面粗糙度为9.1nm,对今后铝栅CMP的研究提供了参考.

关键词：化学机械平坦化、去除速率、粒径、粗糙度、高k金属栅极

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目2009ZX02308

在线出版日期：2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,39