库仑测厚仪十年来的进步和发展

摘要：

回顾了传统库仑测厚技术存在的问题,特别是因环境温度变化导致测量电位变化,进而影响测量终点的判定,导致测量误差.全面介绍了电脑智能型库仑测厚仪的进步和发展,从降低测量误差和增大测量范围列举了应用实例,并展望了今后测厚技术的发展.

关键词：阳极溶解、厚度测量、库仑测厚仪、智能型

所属期刊栏目：36

分类号：TQ016.5(一般性问题)

在线出版日期：2014-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17