微波固态电路腔体的磁控溅射镀银工艺研究

摘要：

研究了铝合金微波固态电路腔体磁控溅射镀银工艺方法.通过对铝合金微波固态电路腔体进行化学氧化、磷酸阳极氧化前处理,解决铝基材微波固态电路腔体溅射银层的附着力问题;通过保护工装设计,实现腔体选择性溅射,满足微波固态电路组装要求.

关键词：磁控溅射、铝合金基体、局部镀银、微波固态电路腔体

所属期刊栏目：36

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金："十二五"国家科技支撑计划项目513181501

在线出版日期：2014-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12